Fraunhofer HHI väljer Veecos sputter-system

Institutet för optisk telekomforskning beställer jonstrålesprutningssystem för att skapa laserfasetbeläggningar och mikrooptiska enheter.
COATING

HHI kommer att använda Veecos IBS-teknik för att skapa laserfasetbeläggningar.

Veeco Instruments har meddelat att de har skickat sitt Spector Ion Beam Sputtering-system (IBS) och Sirius Optical Monitor System till Fraunhofer Institute för Telekommunikation(HHI).
Institutet, baserat i Berlin, Tyskland, säger att det kommer att använda denna IBS-teknik "för att utveckla och tillverka laserfacetter och andra mikrooptiska enheter".
"Utvecklingen av sofistikerade mikrooptiska enheter kräver exceptionell förstoftningsteknik", kommenterade Greta Ropers, chef för backend och förpackningsgrupp för Fraunhofer.
"Veecos Spector-system, tillsammans med Sirius OMS, kommer att säkerställa att vi utvecklar och producerar enheter i världsklass med högsta genomströmning och processrepetibilitet på en automatiserad, etablerad plattform."

Optiska tunna filmer
Spector-plattformen genererar optiska tunna filmer av hög kvalitet med förbättrade nivåer av produktivitet och genomströmning, enligt kunder. Till skillnad från evaporativa beläggningar deponeras tunna filmer med jonstråle med höga energier, vilket ger exceptionell tjocklekskontroll och låga defekttätheter för laserbeläggningstillämpningar. Sirius OMS förbättrar Spector-plattformens kapacitet genom att koppla bredbandsövervakningskontroll med stabiliteten hos jonstråldeponerade filmer .
"Fraunhofer HHI världsledande inom utveckling av nästa generations laserfacetter och mikrooptiska enheter", säger Dr. Adrian Devasahayam, vice president och chef för Veecos Advanced Deposition and Etch (AD & E) -verksamhet. "Spector-systemet ger oöverträffad kvalitet och flexibilitet för precision optisk beläggning av tunna filmer och kommer att påskynda deras utvecklingsmål."
Finansieringen för detta projekt beviljades av Forschungsfabrik Mikroelektronik, en forskningsfabrik för mikroelektronik och nanoelektronik som kompromissar elva institut inom Fraunhofer-gruppen tillsammans med Innovations for High Performance Microelectronics och Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Systemet såldes i samarbete med Veecos europeiska kanalpartner,Veonis Technologies.


Inläggstid: 31 oktober 2019